工学部 大学院工学府

羽深研究室  Habuka Lab.

240-8501 神奈川県横浜市保土ケ谷区常盤台79-5 
79-5 Tokiwadai Hodogaya Yokohama Kanagawa 240-8501 Japan
Phone & Fax045-339-3998, e-mail: habuka-hitoshi-ngynu.ac.jp
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羽深 等 教授

Hitoshi Habuka, Prof., Dr.

化学工学(反応工学・反応装置工学)・材料工学(半導体結晶材料)

Chemical engineering (Reaction & reactor engineering)

Materials science and engineering (Semiconductor crystalline materials)

分野:反応工学(輸送現象と化学反応)

Fields: Reaction engineering (Transport phenomena and chemical reaction)

 

材料:シリコン結晶、炭化珪素結晶

Materials: Silicon (Si), silicon carbide (SiC) and necessary materials for producing Si and SiC

 

対象:半導体結晶材料生産技術における化学反応プロセスと反応装置の解析・設計

Viewpoints: Chemical process and reactor design for producing semiconductor materials

 

実験:成膜(CVD,プラズマCVD,蒸着)、エッチング、洗浄、分子吸着脱離測定、流れの可視化観察、光加熱

Experimental approach: Film formation (Chemical Vapor Deposition (CVD) (Thermal and plasma), Vacuum evaporation), Etching, Wet cleaning, Molecular adsorption/desorption, Flow visualization, Radiation heat furnace

 

計算:熱流体計算、反応速度解析、レイトレーシング

Numerical calculation: Computational Fluid Dynamics (Heat, flow and chemical reactions), Ray tracing (Lamp heating, Flash lamp annealing)

 

実装技術

よこはま高度実装技術研究拠点 → URL: http://www.y-jisso.org/research-center/

横浜国立大学の「先端パワーエレクトロニクス技術体系教育講座の構築と実証」事業が国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)に採択され(2016年02月)、「先端パワーエレクトロニクス技術体系教育講座」のベーシック・コースとアドバンスト・コースを実施しています。

 

2017.09.05-08 JSAP Fall Meeting (Fukuoka, Japan)

 

2017 lab meeting

 

2013 lab meeting

 

2016.09.13-16, JSAP Fall Meeting 応用物理学会 (Niigata, Japan)

 

Bear’s favorite sweater (20160324)

(See Profile page.)

 

2015.09.12-16, JSAP Fall Meeting 応用物理学会 (Nagoya, Japan)